更新時間:2024-09-20
parker超高純束縛膜片減壓閥SMSQ2Micro 減壓閥用于狹小空間需要壓力控制的UHP超高純使用點應用。提供的可靠性和泄露完整性,使其成為關鍵的半導體操作的理想選擇。
品牌 | 其他品牌 | 應用領域 | 化工,石油,能源,電子,紡織皮革 |
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parker超高純束縛膜片減壓閥產(chǎn)品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市場上*的微型超高純減壓閥。產(chǎn)品提供精密且穩(wěn)定的壓力控制,提高了MFC(質量流量控制器)的性能,這對半導體生產(chǎn)的重復性和產(chǎn)量至關重要。產(chǎn)品同樣表現(xiàn)出優(yōu)異的泄露完整性和底粒子生成,以減少對半導體應用中至關重要的的過程污染.
減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體,為階躍函數(shù)流量需求變化提高出色響應。產(chǎn)品采用自動定心束縛膜片設計,提供穩(wěn)定閥座密封和壓力調節(jié)。沒有閥芯彈簧和閥座滯留螺紋,這樣大限度減少粒子生成和截留,進一步提高工藝清潔度和吹掃性能.
SMSQ2Micro接液部件由特殊金屬制備,提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體材料為內部電解拋光 Vericlean™ 316L不銹鋼。Vericlean™ 是派克公司的UHP超高純級不銹鋼。膜片和閥芯材料為哈氏合金 C-22®。這些材料與SMSQ2Micro系列設計特點相結合,使SMSQ2Micro系列具有強耐腐蝕性和更高循環(huán)壽命,入口壓力高達250.
SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用與量子閥相同間距接口,符合SEMI模塊化接口規(guī)范.
SMSQ2Micro系列減壓閥的內部(閥座)密封和金屬外部密封通過氦泄漏測試,使用質譜儀以獲得在苛刻超高純應用中的性能和穩(wěn)定性.
市場:
• 半導體
• 分析試驗室
• 制藥
• 生物制藥
• 航空航天
• 工業(yè)
特點和優(yōu)勢:
• 有C 和 W密封貼面安裝1-1/8
parker超高純束縛膜片減壓閥性能特點
潔凈316L不銹鋼
潔凈316L不銹鋼
哈氏合金 C-22
哈氏合金 C-22
PCTFE
銅鍍鎳
不銹鋼
ABS (藍) (SMSQ2Micro)
ABS (黑) (SMSQ2Micro130E)
750 psig (52 barg)
375 psig (26 barg)
Cv: 0.06 (SMSQ2Micro), 0.15 (SMSQ2Micro130E)
< 5 x 10-8 cc/sec He
< 2 x 10-10 cc/sec He
0.08 cm3
0.9 lb
0.42 kg
5微英寸粗糙度
250 psig / 17 barg
-10 psig - 60 psig (260 torr - 4.1 barg)
66 °C
150 °F
-40 °C
-40 °F
更多產(chǎn)品詳見:parker膜片減壓閥
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